产品介绍

所属系列：CMR364 系列。

测量范围：满量程为 1hPa（1mbar/750mTorr），zui小测量值为 10⁻⁴mbar（7.5×10⁻²mTorr）。

精度：测量值的 ±0.2%。

响应时间：30ms。

传感器类型：采用陶瓷氧化铝电容传感器元件，可测量气体的绝 对压力，且与气体类型或成分无关，无需查找表格和进行 气体转换计算。

连接方式：配备 KF16 法兰。

兼容性：与 TPG361、TPG362 和 TPG366 普发真空计控 制 器兼容，需要搭配传感器电缆使用，电缆长度有 3 米至 10 米可选。

输出信号：通常为模拟信号输出，可与多种控制系统连接，具体输出信号类型可根据配套的控 制 器等设备确定。

工作环境：一般可在温度 + 5℃至 + 55℃的环境中工作